Mikrostrukture in nanostrukture

Program »Mikrostrukture in nanostrukture« se izvaja na UL FE v okviru Laboratorija za mikrosenzorske strukture in elektroniko (LMSE). Temeljne raziskovalne dejavnosti vključujejo razvoj mikrosenzorjev, mikroaktuatorjev in mikrofluidnih elementov ter mikroelektromehanskih sistemov (MEMS) za realizacijo naprednih rešitev v biomedicinskih, biotehnoloških, farmacevtskih, procesno kemijsko inženirskih in drugih sorodnih področjih. Poseben poudarek je na naprednih senzorjih in aktuatorjih izdelanih na siliciju v standardni planarni polprevodniški tehnologiji procesiranja silicijevih rezin podprtih z napredno tridimenzionalno mikroobdelavo silicija. Pomemben del programa je tudi razvoj pametne senzorske elektronike, podpora z naprednimi načrtovalskimi in numeričnimi simulacijskimi orodji in postavitev karakterizacijskih metod za testiranje.