Opis predmeta
Definicije senzorjev, osnovni principi pretvorbe, klasifikacije senzorjev in aktuatorjev.
Osnovni senzorski parametri: karakteristika, točnost, ločljivost, občutljivost, selektivnost, minimalni detektirani signal, prag, nelinearnost, histereza, ponovljivost, šum, temperaturni ničelni odziv, preobremenitev, zakasnitev odziva, stabilnost, analiza časovnega odziva senzorja
Senzorske tehnologije: mikro-obdelava, lastnosti osnovnih materialov, depozicije tankih plasti, fotolitografija, jedkanje, LIGA, žrtvovani film, laserska obdelava, zatesnitev odprtin, spajanje substratov, izdelava 3D struktur, montaža in zapiranje v ohišje,
Analogna in digitalna obdelava signalov senzorskih in aktuatorskih signalov.
Pregled senzorskih in aktuatorskih družin ter njihovih aplikacij: Piezorezistivni, Piezoelektrični, Piroelektrični, Kapacitivni, Resonančni, Termoelektrični , Radiacijski, Magnetni, Kemijski, Senzorji na osnovi optičnih vlaken.
Napredne senzorske in aktuatorske strukture.
Predmet učimo na programih
Cilji in kompetence
Poznavanje principov delovanja, struktur, tehnologij in aplikacij senzorjev in aktuatorjev.
Uporaba pridobljenega znanja o senzorjih in aktuatorjih pri realizaciji naprednih senzorskih in aktuatorskih sistemov.
Metode poučevanja in učenja
Predavanja, seminar
Predvideni študijski rezultati
Predstaviti principe delovanja, struktur, tehnologij in aplikacij senzorjev in aktuatorjev in jih njihovo uporabo pri reševanju praktičnih problemov v senzorskih in aktuatorskih sistemih.
Temeljni viri in literatura
Lyshevski S (2005) Nano- and microelectromechanical systems, CRC press, Boca Raton
Fraden J (2010) Handbook of modern sensors : physics, designs, and applications, Springer, New York
Horowitz P, Hill W (2008) The art of electronics, Cambridge University Press, Cambridge
Soloman S (2010) Sensors handbook, McGraw-Hill, New York
Amon, Slavko (2013) Senzorji in aktuatorji, Fakulteta za elektrotehniko, Ljubljana
Bodi na tekočem
Univerza v Ljubljani, Fakulteta za elektrotehniko, Tržaška cesta 25, 1000 Ljubljana