Senzorji in aktuatorji

Definicije senzorjev, osnovni principi pretvorbe, klasifikacije senzorjev in aktuatorjev.
Osnovni senzorski parametri: karakteristika, točnost, ločljivost, občutljivost, selektivnost, minimalni detektirani signal, prag, nelinearnost, histereza, ponovljivost, šum, temperaturni ničelni odziv, preobremenitev, zakasnitev odziva, stabilnost, analiza časovnega odziva senzorja         
Senzorske tehnologije: mikro-obdelava, lastnosti osnovnih materialov, depozicije tankih plasti, fotolitografija, jedkanje, LIGA, žrtvovani film, laserska obdelava, zatesnitev odprtin, spajanje substratov, izdelava 3D struktur, montaža in zapiranje v ohišje,
Analogna in digitalna obdelava signalov senzorskih in aktuatorskih signalov.
Pregled senzorskih in aktuatorskih družin ter njihovih aplikacij: Piezorezistivni, Piezoelektrični, Piroelektrični, Kapacitivni, Resonančni, Termoelektrični , Radiacijski, Magnetni, Kemijski, Senzorji na osnovi optičnih vlaken.
Napredne senzorske in aktuatorske strukture.

Poznavanje principov delovanja, struktur, tehnologij in aplikacij senzorjev in aktuatorjev.

Uporaba pridobljenega znanja o senzorjih in aktuatorjih pri realizaciji naprednih senzorskih in aktuatorskih sistemov.

Predavanja, seminar